/ Micro-sonde EDX

SPECTROSCOPIE DES RAYONS-X DISPERSIVE EN ÉNERGIE (EDX ou EDS)

Présent dans un microscope électronique, le spectromètre des rayons-X (EDX), permet d’obtenir la composition élémentaire qualitative ou semi-quantitative de très petites zones de manière extrêmement facile et rapide.

L’EDX utilise le même faisceau incident d’électrons que le SEM, mais contrairement au SEM, le détecteur de l’EDS analyse les rayons X émis par la surface dont l’énergie est caractéristique de chaque élément.

Paramètres d’analyse

Matériaux analysables: Solides inorganiques
Type d’information obtenue: Élémentaire
Précision: Semi-quantitatif
Limite de détection: jusqu’à 0.1% atomique
Profondeur d’analyse: jusqu’à 5 microns
Plus petite zone analysable: 10 microns de diamètre

Utilisation

-Identification de matériaux
-Informations complémentaires à la microscopie électronique
-Technique exploratoire

Avantages:

Analyse rapide, facile et peu coûteuse
Possibilité d’analyser de petites zones (quelques microns carrés)

Désavantages:

Analyse élémentaire seulement
Travail sous vide
Calibration requise pour les analyse semi-quantitatives

-Alliages (inclusions, corrosion)
-Électronique (défauts, structures)
-Métallurgie extractive (précipités, concentré, résidus)
-Nanotechnologies (couches minces, nanoparticules, nanostructures)

-Manufacturier : Hitachi
-Modèle : S-4700 (émetteur à effet de champ (cold FEG ))

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