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DÉTECTION PAR RECUL ÉLASTIQUE (ERD)

Comme le RBS, l’ERD permet d’obtenir un profil de composition chimique quantitatif (quelques centaines de nanomètres), mais permet de détecter tous les éléments, de l’hydrogène à l’uranium inclusivement.

Dans cette technique, un faisceau d’ions lourds de haute énergie (typiquement des ions de cobalt à 50 MeV) entre en collision par un échantillon. Des atomes légers de la cible (H, He, C, O, etc.) sont éjectés et recueillis par un détecteur à l’état solide. À partir du spectre d’énergie des atomes éjectés, on peut constituer un profil de composition en profondeur de l’échantillon. Le ERD est une méthode quantitative et non destructive, idéale pour des profils en profondeur. C’est l’une des rares méthodes qui permettent de mesurer des concentrations d’hydrogène.

Paramètres d’analyse

Matériaux analysables: Solides inorganiques
Type d’information obtenue: élémentaire
Précision: Quantitatif
Limite de détection: 0.1% atomique
Profondeur d’analyse: quelques centaines de nanomètres
Plus petite zone analysable: 1 mm de diamètre

Utilisation

-Composition de couches minces

-Profil de composition en profondeur

-Déterminer des concentrations en % atomique

 

 

Avantages:
-Détermination d’un profil de concentration relativement facilement et rapidement
-Bonne limite de détection pour la plupart des éléments
-Mesure des éléments légers comme l’hydrogène

Désavantages:
-Limite de détection variable selon les éléments
-Composition élémentaire seulement


Éléments détectés : Hydrogène – uranium

Résolution/sensibilité : 0.1 – 1 at%

Résolution en profondeur : 10 nm

Résolution latérale : 2 mm

Modèle : Accélérateur Tandem 6 MV

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