/ RBS

SPECTROMÉTRIE DES IONS RÉTRODIFFUSÉS (RBS)

Le grand avantage de la méthode RBS est que cette technique permet d’obtenir un profil de composition chimique quantitatif (quelques centaines de nanomètres), rendant cette technique très utile pour l’industrie électronique.

En RBS, un faisceau d’ions légers (H, He, Li, etc.) d’énergie typique 1 – 3 MeV entre en collision avec un échantillon. Les ions sont rétrodiffusés d’une région près de la surface de l’échantillon et sont recueillis par un détecteur à l’état solide. La distribution en énergie des ions rétrodiffusés donne de l’information sur la nature et la distribution en profondeur des éléments de l’échantillon. L’épaisseur et la composition des différentes couches de l’échantillon sont déduites en comparant les spectres expérimentaux à des simulations. Le RBS est une méthode quantitative et non destructive idéale pour des profils en profondeur.

Paramètres d’analyse

Matériaux analysables: Solides inorganiques
Type d’information obtenue: élémentaire
Précision: Quantitatif
Limite de détection: 0.001% atomique
Profondeur d’analyse: quelques centaines de nanomètres
Plus petite zone analysable: 1 mm de diamètre

Utilisation

– Analyse de couches minces

– Profils en profondeur

– Déterminer des concentrations en % atomique

 

 

Avantages:
-Détermination d’un profil de concentration relativement facilement et rapidement
-Bonne limite de détection pour la plupart des éléments

Désavantages:
-Limite de détection variable selon les éléments
-Composition élémentaire seulement

Le RBS a été utilisé pour étudier la ségrégation de manganèse implanté ioniquement dans du phosphore d’indium (InP). Les chercheurs ont démontré que le Mn est ségrégée vers la surface après un recuit thermique, en plus d’observer une recristallisation de la couche endommagée par l’implantation

Éléments détectés : Carbone – uranium

Résolution/sensibilité : 0.001 – 10 at%

Résolution en profondeur : 3 nm

Résolution latérale : 2 mm

Modèle : accélérateurs Tandetron 1.7 MV et Tandem 6 MV

S'inscrire à notre infolettre mensuelle et/ou suivre notre flux rss.