/ Ellipsométrie

ELLIPSOMÉTRIE

L’ellipsométrie mesure les changements de polarisation subis par une onde comme suite  à la réflexion sur une surface pour caractériser celle-ci. Cette méthode fournit une foule de renseignements sur un matériau tels que l’indice de réfraction, la composition chimique et la conductivité électrique. On peut également connaître l’épaisseur d’une couche mince de quelques dixièmes de nanomètre jusqu’à quelques micromètres. Par ailleurs, cette technique est non-destructive et sans contact.

-Déterminer l’indice de réfraction d’une couche mince

-Mesurer l’épaisseur d’un revêtement optique

-Mesurer la rugosité

-Mesurer les gradients de concentration chimique                                                                          ou de dopant

 

Avantages:

-Technique très versatile
-Analyse sous atmosphère
-La conductivité de l’échantillon n’a pas d’importance

Désavantages:

-Information chimique limitée
-Les couches doivent être bien définies
-Pas approprié pour les films opaques ou épais (plus de quelques microns)

Résolution/sensibilité : 1.6 – 6 nm, 1 cm-1 (IR)

Résolution en profondeur : ≤ 1 nm (dépend du modèle et du matériau)

Résolution latérale : 3 – 10 mm

Autres caractéristiques : Plage spectrale : 245 nm – 33 µm

Manufacturier : J.A. Woollam Co.

Modèle : VASE, M-2000UI, M44, IR-VASE

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