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MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE (MEB ou SEM)

La microscopie électronique à balayage est une technique d’imagerie rapide qui fournit une haute résolution et une excellente profondeur de champ.

Un microscope SEM est composé d’un faisceau d’électrons qui balaie la surface à l’ étude et d’un détecteur qui recueille les signaux résultant de l’interaction entre les électrons incidents et la surface. Les signaux recueillis comprennent notamment des électrons secondaires, des rayons X et des électrons rétrodiffusés. Dans le cas d’une étude morphologique, on utilise les électrons secondaires émis pour toute fin de création de l’image. L’image tridimensionnelle reconstituée permet par exemple d’examiner un dépôt de surface ou de visualiser des microsoudures.

Utilisation

 

Avantages:

-Méthode simple, bien connue et peu coûteuse
-Imagerie et analyse chimique de base (détecteur EDX) dans un seul appareil

Désavantages:

-Les échantillons biologiques et non-conducteurs peuvent être problématiques
-Travail sous vide

-Alliages (inclusions, corrosion)
-Électronique (défauts, structures)
-Métallurgie extractive (précipités, concentré, résidus)
-Nanotechnologies (couches minces, nanoparticules, nanostructures)

Résolution latérale : 2-5 nm

Manufacturier : Hitachi

Modèle : S-4700 émetteur à effet de champ – cold FEG

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