Profilométrie (Dektak)
Le profilomètre est un instrument de haute précision servant à analyser la topographie et la rugosité de surface. La résolution de cet appareil est inférieure à celle de l’AFM mais les surfaces analysées peuvent avoir un fort relief (jusqu’à 1 mm).
Pour faire la mesure, un stylet balaie doucement la surface, alors que la défection verticale est mesurée en continu. Ces données permettent de générer une image de la topographie de l’échantillon en 2D ou 3D.
Utilisation
Détermination de la topographie d’une vaste gamme de matériaux
Mesures de rugosité
Mesure de l’épaisseur d’un revêtement lorsqu’une discontinuité claire est présente
Avantages:
-Appareil simple à utiliser
-Mesure de la topographie en 2d rapide
-Permet de mesurer des surfaces très rugueuses
Désavantages:
-Précision moins élevée que l’AFM
-Les mesures 3D peuvent être longues
-Mesure d’épaisseur de revêtements
-Mesure de rugosité linéaire ou en deux dimensions
Résolution verticale : 1 nm ( pour mesure inférieure à 6 µm)
Déplacement vertical : 1 mm max
Résolution latérale : <0.1% (sur un scan de 55 mm)
-Manufacturier : Veeco
-Modèle : Dektak 150
