/ Mesures de contraintes mécaniques

MESURES DE CONTRAINTES MÉCANIQUES

Le GCM dispose d’un instrument de la compagnie Tencor pour réaliser des mesures de contraintes intrinsèques et thermiques pour des intervalles compris entre 0 et 20 GPa et 20 et 900C, respectivement. Cet appareil mesure le rayon de courbure de substrats circulaires (avant et après le dépôt) par interférométrie à l’aide d’un faisceau laser. Les valeurs de contrainte mécanique sont ensuite calculées directement grâce à la formule de Stoney, sachant l’épaisseur de la couche et du substrat, ainsi que leurs modules d’Young et leurs coefficients de Poisson respectifs.

Utilisation

-Mesurer les contraintes intrinsèques de couches minces

-Déterminer les contraintes thermiques de revêtements

Force : 0 – 20 GPa

Manufacturier : Tencor

Modèle : Flexus 2900

S'inscrire à notre infolettre mensuelle et/ou suivre notre flux rss.