Analyses chimiques
- Spectrométrie de masse des ions secondaires en temps de vol (TOF-SIMS)
- Spectrométrie photoélectronique par rayons X (XPS)
- Spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR)
- Micro-spectroscopie Raman
- Microscopie Auger (AES)
- Spectrométrie des ions rétrodiffusés (RBS)
- Détection par recul élastique (ERD)
Microscopie
- Microscopie à force atomique (AFM)
- Faisceau d’ions focalisés couplé à un microscope électronique à balayage (Dual beam FIB/SEM)
- Microscopie électronique à balayage (MEB)
- Microscopes optiques
Tests mécaniques
- Profilométrie
- Test de microdureté
- Test de micro-rayures
- Nano-indentation
- Tribométrie
- Test d’adhérence ou de friction
- Mesure de contraintes mécaniques
Autres techniques
- Ellipsométrie
- Spectroscopie d’absorption
- Spectrophotométrie
- Réfractométrie de résonance de plasmons de surface
- Photoluminescence (PL) et excitation de la photoluminescence (PLE)
- Mesures d’angle de contact
- Analyse par réaction nucléaire (NRA)
- Canalisation ionique
- Spectrométrie des ions de moyennes énergies (MEIS)
- Microscopie à angle de Brewster / Imagerie ellipsométrique
- Diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD-UHV)
- Mesures 4 pointes
