Description

L’analyse par réaction nucléaire est utilisée pour mesurer des éléments de faible masse nucléaire (hydrogène, carbone, azote, oxygène et bore). Dans ce procédé, les particules incidentes induisent une réaction nucléaire dans le matériau, provoquant l’émission de particules caractéristiques du matériau analysé. Cette méthode permet d’évaluer quantitativement des concentrations d’atomes dans des couches minces, en pourcentage atomique.

Utilisations Mesurer des concentrations de H, C, N, O et B dans des revêtements

Spécifications techniques

Éléments détectés :	H, C, N, O, B
Résolution/sensibilité :	0.001 at %
Résolution en profondeur :	5 nm
Résolution latérale :	2 mm
Modèle :	Accélérateur Tandem 6 MV