Description

Le dépôt à arc cathodique est une technique de dépôt physique en phase vapeur qui utilise un arc électrique pour vaporiser du matériel d’une cathode (cible). Le matériel vaporisé se condense ensuite sur un substrat, formant une couche mince. Le dépôt à arc cathodique sert à déposer une large gamme de matériaux : métaux, céramiques et composites.

Le dépôt à arc cathodique démontre son efficacité en particulier pour le dépôt de couches dures, comme pour protéger la surface des outils de découpe. Cette méthode est aussi très utilisée pour déposer des revêtements DLC (diamond-like carbon).

Utilisations Dépôt de films durs Dépôt de revêtements diamond-like carbon Dépôt de revêtements décoratifs

Spécifications techniques

Diamètre du porte-échantillon :	8 pouces
Pression de base:	5 x 10-6 torr
Gaz disponibles:	Ar, N2, O2
Taux de dépôt :	1 - 10 nm/s
Contrôle de l’épaisseur :	5%
Manufacturier :	Hauzer