Dépôt de couches minces et microfabrication

Grâce à de nombreux projets innovateurs, le GCM a développé un savoir-faire enviable en microfabrication et prototypage de microsystèmes. Les laboratoires du GCM sont équipés d’appareils de pointe pour fabriquer des microstructures avec une large gamme de matériaux et de substrats, incluant des plaquettes (wafers) de silicium, du verre, des céramiques, des alliages, des métaux, etc. Nos champs d’expertise sont principalement :
  • Conception de systèmes microélectromécaniques (MEMS)
  • Correction de circuits imprimés
  • Prototypage de microsystèmes
  • Fabrication de cavités optiques
  • Design et fabrication de senseurs
  • Revêtements anti-usure et anti-corrosion
  • Revêtements anti-reflets et filtres optiques
  • Microfluidique
Notre personnel hautement qualifié se fera un plaisir de faire de votre projet un succès. Vous pouvez consulter ici la liste complète des équipements

Dépôt de couches minces

  • Évaporateur à canon d’électrons
  • PECVD
  • Pulvérisateurs à magnétron
  • Évaporateurs thermiques

Photolithographie

  • Aligneuse de masques
  • Résines positives et négatives
  • Alignement face arrière à l’infrarouge

Gravure

  • Gravure profonde par ions réactifs (DRIE)
  • Gravure par ions réactifs (RIE)
  • Gravure anisotropique
  • Faisceau d’ions focalisé
  • Gravure humide

Revêtements spécialisés

  • Revêtements anti-corrosion
  • Revêtements anti-usure
  • Filtres optiques
  • Revêtements anti-reflets

Consulter la liste complète des équipements