Description

Un faisceau d'ions lourds de haute énergie (typiquement des ions de cobalt à 50 MeV) entre en collision par un échantillon. Des atomes légers de la cible (H, He, C, O, etc) sont éjectés et recueillis par un détecteur à l’état solide. A partir du spectre d’énergie des atomes éjectés, on peut constituer un profil de composition en profondeur de l’échantillon. Le ERD est une méthode quantitative et non-destructive, idéale pour des profils en profondeur. C’est l’une des rares méthodes qui permet de mesurer des concentrations d’hydrogène.

Utilisations Composition de couches minces Profil de composition en profondeur Déterminer des concentrations en % atomique

Spécifications techniques

Éléments détectés :	Hydrogène - uranium
Résolution/sensibilité :	0.1 – 1 at%
Résolution en profondeur :	10 nm
Résolution latérale :	2 mm
Modèle :	Accélérateur Tandem 6 MV