Description

L’ellipsométrie s’intéresse au changement de polarisation subi par une onde suite à la réflexion sur une surface comme moyen d’analyse de cette surface. Elle fournit une foule de renseignements sur un matériau tels que l’indice de réfraction, la composition chimique et la conductivité électrique. On peut également connaître par ellipsométrie l’épaisseur d’une couche mince de quelques dixièmes de nanomètre jusqu’à quelques micromètres. L’ellipsométrie est une méthode non-destructive et sans contact.

Utilisations Déterminer l’indice de réfraction d’une couche mince Mesurer l’épaisseur d’un revêtement optique Mesurer la rugosité Déterminer la biréfringence Mesurer les gradients de concentration chimique ou de dopant

Spécifications techniques

Résolution/sensibilité :	1.6 – 6 nm, 1 cm-1 (IR)
Résolution en profondeur :	≤ 1 nm (dépend du modèle et du matériau)
Résolution latérale :	3 – 10 mm
Autres caractéristiques :	Plage spectrale : 245 nm – 33 µm
Manufacturier :	J.A. Woollam Co.
Modèle :	VASE, M-2000UI, M44, IR-VASE