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Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces (GCM)

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Évaporateur thermique pour l’aluminium

Description

Dans l’évaporation thermique, le matériel à déposer est placé dans un creuset que l’on chauffe par effet Joule. The matériel s’évapore et va ensuite se déposer sur le substrat.

Utilisations

  • Dépôt de couches minces d’aluminium

Spécifications techniques

Distance creuset porte-substrat : 5 po
   
Manufacturier : Edwards
 

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