Description

Le four à ozonisation par ultraviolet libère une grande quantité d’ozone pour nettoyer la surface de différents matériaux qui ont été modifiés par microfabrication. Il est particulièrement efficace pour éliminer les restes organiques de la surface d’un substrat.

Utilisations Nettoyage de surface Nettoyage de traces d’hydrocarbures Obtention de surfaces ultra-propres sur matières inorganiques : Si, quartz, verre, AsGa, SiC, métaux (Au, Ni, Fe,…)

Spécifications techniques

Manufacturier :	UVOCS
Modèle :	T10x10 OES