Les laboratoires du GCM
Le GCM est composé de différents laboratoires situés à l’École Polytechnique et à l’Université de Montréal et ayant chacun une expertise et des équipements spécifiques.
Laboratoire pour l’analyse de la surface des matériaux (LASM):
XPS, TOF-SIMS, Auger, EBSD, Angles de contact.
Laboratoire de microfabrication (LMF):
Photolithographie, lithographie par faisceau d’électrons, DRIE-ICP, RIE, collage de substrat, dépôt de parylène, scie de découpe, séchage supercritique, four à recuit, nettoyage et décapage, polissage, profilométrie, éllipsométrie, mesures 4 pointes, MEB, pulvérisateur/évaporateur à canon d’électrons, pulvérisateur à magnétron, évaporateur par faisceau d’électron, évaporateur thermique.
Laboratoire de caractérisation des matériaux (LCM):
Laboratoire de diffraction des rayons X:
Laboratoire de faisceaux d’ions:
