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Les laboratoires du GCM

Le GCM est composé de différents laboratoires situés à l’École Polytechnique et à l’Université de Montréal et ayant chacun une expertise et des équipements spécifiques.

Laboratoire pour l’analyse de la surface des matériaux (LASM):

XPS, TOF-SIMS, Auger, EBSD, Angles de contact.

Laboratoire de microfabrication (LMF):

Photolithographie, lithographie par faisceau d’électrons, DRIE-ICP, RIE, collage de substrat, dépôt de parylène, scie de découpe, séchage supercritique, four à recuit, nettoyage et décapage, polissage, profilométrie, éllipsométrie, mesures 4 pointes, MEB, pulvérisateur/évaporateur à canon d’électrons, pulvérisateur à magnétron, évaporateur par faisceau d’électron, évaporateur thermique.

Laboratoire de caractérisation des matériaux (LCM):

FTIR, Raman, AFM, TGA, DSC.

Laboratoire de diffraction des rayons X:

XRD.

Laboratoire de faisceaux d’ions:

ERD, RBS.

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