Description

La canalisation ionique est une technique analytique de couches minces qui fait appel aux propriétés des monocristaux. Tout comme le RBS, la canalisation ionique étudie le comportement d’ions légers rétrodiffusés de la surface sous analyse. En particulier, on sait que le nombre d’ions rétrodiffusés diminue drastiquement lorsque le faisceau d’ions incidents est aligné avec la structure du monocristal. Cette méthode permet donc d’évaluer la qualité du cristal en fonction de la profondeur ou de déterminer les dommages à la structure cristalline d’un matériau.

Utilisations Analyse de la qualité d’un cristal Mesure des défauts d’un cristal Profil en profondeur des dommages à la structure cristalline

Spécifications techniques

Résolution/sensibilité :	1 at %
Résolution en profondeur :	5 nm
Résolution latérale :	2 mm
Modèle :	Accélérateur Tandetron 1.7 MV