Description

Le GCM dispose d’un instrument de la compagnie Tencor pour réaliser des mesures de contraintes intrinsèques et thermiques pour des intervalles compris entre 0 et 20 GPa et 20 et 900^oC, respectivement. Cet appareil mesure le rayon de courbure de substrats circulaires (avant et après le dépôt) par interférométrie à l'aide d'un faisceau laser. Les valeurs de contrainte mécanique sont ensuite calculées directement grâce à la formule de Stoney, sachant l'épaisseur de la couche et du substrat, ainsi que leurs modules d'Young et leurs coefficients de Poisson respectifs.

Utilisations

• Mesurer les contraintes intrinsèques de couches minces
• Déterminer les contraintes thermiques de revêtements

Spécifications techniques

Force :	0 – 20 GPa
Manufacturier :	Tencor
Modèle :	Flexus 2900