/ Microfabrication

Les installations du laboratoire de microfabrication (LMF) offrent, à la fois pour le milieu académique et industriel, un environnement de travail en salle propre de classe 100, permettant le prototypage et la recherche de pointe. Les principaux domaines sont la microélectronique, les MEMS et en microfluidique. La majorité des installations et des instruments permettent l’utilisation de petites pièces de semi-conducteurs, verre,  ou autres matériaux,  jusqu’à des gaufres complètes de 150 mm (wafer de 6 pouces). Toutes les étapes de fabrication microélectronique peuvent être réalisées dans le laboratoire;  photolithographie et lithographie par faisceau d’électrons, dépôt de métaux et matériaux, gravure par par plasma réactif, inspection et métrologie, bonding, chimie aqueuse, découpe…