ALIGNEUSE DE MASQUES
L’aligneur MA-4 de Karl Suss a été conçu pour de la photolithographie de haute précision dans un environnement de laboratoire. Il peut accommoder des masques jusqu’à 5 pouces de diamètre, de formes régulières ou irrégulières.
Utilisation
-Photolithographie
-Exposition de différentes résines
Manufacturier : Karl Suss
Modèle : MA-4
Dimensions des masques : de 3 à 5 pouces
Dimension maximale d’échantillon : 4 pouces diamètre
Modes de contact: 5 différents de hard vacuum à proximité
Lampe : 350W Hg
Optique : UV 400 (raies 436 – 405 – 365 nm)
Insolation : en puissance ou en intensité constante
Alignement : FAV/FAR Infrarouge
