Description

La microscopie électronique à balayage est une technique d’imagerie rapide qui fournit une haute résolution. Un microscope SEM est composé d’un faisceau d’électrons qui balaie la surface sous étude et d’un détecteur qui recueille les signaux résultant de l’interaction entre les électrons incidents et la surface. Les signaux recueillis comprennent notamment des électrons secondaires, des rayons X et des électrons rétrodiffusés. Dans le cas d'une étude morphologique, on utilise les électrons secondaires émis pour fin de création de l'image. L’image tridimensionnelle reconstituée permet par exemple d’examiner un dépôt de surface ou de visualiser des microsoudures. Le spectromètre des rayons X (EDS), quant à lui, donne la composition élémentaire d’une zone aussi petite que quelques nm. L’EDS utilise le même faisceau incident d’électrons que le SEM, mais, contrairement au SEM, le détecteur de l’EDS analyse les rayons X émis par la surface, dont l’énergie est caractéristique de chaque élément.

Utilisations

• Imagerie et analyse élémentaire de petites régions
• Identifier et cartographier des défauts

Spécifications techniques

Résolution latérale :	2-5 nm
Autres caractéristiques :	Imagerie
Manufacturier :	Philips
Modèle :	XL-20 (émetteur à filament de tungstène)
Manufacturier :	Hitachi
Modèle :	S-4700 (émetteur à effet de champ (cold FEG ))
Manufacturier :	FEI
Modèle :	DB 235