Peter, Yves-Alain 
Professeur agrégé
Département de génie physique, École Polytechnique

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Intérêts de recherche

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Conception, fabrication et caractérisation de micro et nano systèmes optiques. Les microsystèmes opto électro mécaniques (MOEMS) sont intrinsèquement multidisciplinaires. Leur conception optique, électrostatique et mécanique repose sur des calculs analytiques et des simulations numériques. La fabrication est basée sur le micro et nano usinage du silicium, utilisant des techniques de déposition de couches minces ainsi que des techniques de gravage  sec (plasma) et humide. La nanofabrication de cristaux photoniques, couplés à des structures mobiles MEMS, ouvre la voie à de nouvelles structures photoniques accordables. Les MEMS trouvent des applications dans des capteurs de pression, des accéléromètres, des têtes d'imprimante à jet d'encre,  des systèmes de projections optiques, des télescopes astronomiques (miroirs adaptatifs) ainsi que dans les télécommunications optiques et la biologie.