L’homogénéité en profondeur d’un matériau varie parfois en raison de l’exposition à des impuretés ou de par la nature même du procédé manufacturier. Le profilage en profondeur, aussi appelé analyse chimique en profondeur, révèle la composition chimique du matériau et permet d’extrapoler dans bien des cas ses propriétés électriques ou mécaniques. Les profils en profondeur peuvent être obtenus de façon non-destructive, ou encore en enlevant successivement plusieurs couches de l’échantillon, souvent par faisceau d’ions focalisé. Le choix de la méthode de mesure est critique et se base principalement la profondeur à sonder, sur la sensibilité de la résolution en profondeur et les limites de détection de l’appareil. Le personnel hautement qualifié de GCM Lab réalise de façon routinière des profils en profondeur de plusieurs types de matériaux et il est fier de mettre à la disposition des clients industriels ses compétences de pointe.

Techniques de mesure

Il y a une grande quantité de paramètres à considérer pour réaliser un profilage en profondeur : chimie de l’échantillon, sensibilité requise, profondeur d’analyse, résolution en profondeur, concentration, etc. Une analyse complète peut parfois nécessiter plus d’une technique parmi les suivantes :

• Rétrodiffusion de Rutherford (RBS)
• Détection par recul élastique (ERD)
• Spectrométrie de masse des ions secondaires par temps de vol (TOF-SIMS)
• Spectroscopie des électrons Auger
• Spectroscopie photoélectronique des rayons X (XPS)