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Description
Le profilomètre est un instrument de haute précision servant à analyser la topographie et la rugosité de surface. Un stylet balaie doucement la surface, alors que la déflection verticale est mesurée en continu. Le profilomètre Dektak 150 de Veeco offre une fine résolution verticale maximale de quelques angstroms, avec un déplacement vertical maximal de 1 mm. Il se prête donc parfaitement à l’analyse de surfaces avec un fort relief.
Utilisations
- Topographie de surface en 2D et 3D
- Mesure de rugosité
- Mesures de contraintes de couches minces (profil avant dépôt nécessaire)
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