Description

La pulvérisation par double faisceaux d’ions (Dual Ion Beam Sputtering en anglais) est un système de revêtements de qualité industrielle permettant la création de filtres optiques avec une précision et une uniformité exceptionnelles. Cet appareil étant destiné aux applications très exigeantes (ex : télécommunications), il permet un contrôle très fin de différents paramètres de dépôt. Grâce à l’utilisation de deux faisceaux d’ions simultanément, il est possible de contrôler de façon indépendante le taux de dépôt et les propriétés structurales des couches. Plusieurs types de filtres peuvent être fabriqués grâce à cet appareil; mentionnons par exemple les filtres astronomiques, les filtres décoratifs et les dispositifs de sécurité.

Utilisations Dépôt de revêtements optiques Dépôt de filtres optiques

Spécifications techniques

Matériaux :	Ta2O5, SiO2, Nb2O5, Ta, N
Nombre de cibles :	3
Nombre maximal de substrats dans la chambre:	9
Gaz disponibles :	Ar, O2, N2, He
Température du substrat :	25 – 250 °C
Manufacturier :	Veeco-Ion Tech
Modèle :	Spector