Description
Le spectromètre de masse EQP500 de Hiden, installé sur une chambre de production de plasmas, permet de caractériser le plasma et les contaminations résiduelles. |
Utilisations
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Spécifications techniques
| Gamme de masses: | 1-500 amu |
| Énergie des ions: | 0-1000 eV |
| Résolution en énergie : | 0.25 eV |
| Mode “gating”: | résolution temporelle de 1 microseconde |
| Manufacturier : | Hiden |
| Modèle : | EQP500 |