/ Spectromètre de masse

SPECTROMÈTRE DE MASSE

Le spectromètre de masse EQP500 de Hiden, installé sur une chambre de production de plasmas, permet de caractériser le plasma et les contaminations résiduelles.

Utilisation

-Détermination des contaminants résiduels

-Caractérisation du plasma

 

 

 

 

 

 

Gamme de masses: 1-500 amu

Énergie des ions: 0-1000 eV

Résolution en énergie : 0.25 eV

Mode “gating”: résolution temporelle de 1 microseconde

Manufacturier : Hiden

Modèle : EQP500

S'inscrire à notre infolettre mensuelle et/ou suivre notre flux rss.