Description

Dans un microscope Auger, un faisceau d’électrons irradie la surface sous étude et éjecte un électron d’une couche électronique inférieure. Afin que l’atome excité retrouve son équilibre, un électron d’une couche électronique supérieure se déplace à une couche électronique inférieure, transférant son surplus d’énergie à un électron Auger qui est alors émis par l’atome. La microscopie Auger offre une bonne résolution en profondeur pour analyser de petites surfaces. La spectroscopie par électrons Auger a de multiples applications pour l’analyse de défauts et de particules, dans une vaste gamme d’industries telles que la microélectronique, le biomédical ou le domaine pharmaceutique.

Utilisations Analyse de composition de couches minces Analyse de défauts Analyse de surface Profil de composition en profondeur

Spécifications techniques

Éléments détectés :	Lithium - uranium
Résolution/sensibilité :	0.1 – 1 at%
Résolution en profondeur :	2- 20 nm profil en profondeur, 3 nm surface
Résolution latérale :	~ 10 nm
Autres caractéristiques :	EBSD-UHV, chambre de préparation, imagerie durant chauffage, pulvérisation par faisceau d’ions
Manufacturier :	Omicron
Modèle :	Nanotechnology