Description

La spectrométrie MEIS est une variation de la spectrométrie des ions rétrodiffusés (RBS), avec une meilleure résolution sur l’angle de rétrodiffusion et la profondeur. La différence majeure est que les ions incidents dans le MEIS sont moins énergétiques que ceux du RBS; on remplace également le détecteur à état solide par un analyseur électrostatique. Cette technique est idéale pour réaliser des profils de concentration en profondeur ou caractériser la structure atomique de la surface.

Utilisations Déterminer la géométrie des premières couches atomiques Profil en profondeur des premières couches Analyse chimique quantitative de revêtements

Spécifications techniques

Éléments détectés :	carbone à uranium
Résolution/sensibilité :	1 at %
Résolution en profondeur :	0.3 nm
Résolution latérale :	2 mm
Modèle :	Accélérateur 200 kV