Description

En RBS, un faisceau d'ions légers (H, He, Li, etc.) d'énergie typique 1 - 3 MeV entre en collision avec un échantillon. Les ions sont rétrodiffusés d'une région près de la surface de l'échantillon et sont recueillis par un détecteur à l'état solide. La distribution en énergie des ions rétrodiffusés donne de l'information sur la nature et la distribution en profondeur des éléments de l'échantillon. L'épaisseur et la composition des différentes couches de l'échantillon sont déduites en comparant les spectres expérimentaux à des simulations. Le RBS est une méthode quantitative et non-destructive, idéale pour des profils en profondeur.

Utilisations Composition de couches minces Profil de composition en profondeur Déterminer des concentrations en % atomique

Spécifications techniques

Éléments détectés :	Carbone - uranium
Résolution/sensibilité :	0.001 - 10 at%
Résolution en profondeur :	3 nm
Résolution latérale :	2 mm
Modèle :	accélérateurs Tandetron 1.7 MV et Tandem 6 MV