Description

Le XPS, aussi connu sous le nom de spectroscopie électronique pour l’analyse chimique (ESCA), permet de connaître la composition élémentaire, l’état électronique et chimique des éléments contenus dans les 1 à 10 premiers nm de la surface d’un matériau. Cette technique à ultra haut-vide (UHV) mesure les photoélectrons émis par un échantillon après qu’il ait été irradié par des rayons X d’aluminium ou de magnésium, tel que décrit par l’effet photoélectrique d’Einstein.

Utilisations Analyse quantitative et non destructive de la surface de matériaux organiques et inorganiques Identification des espèces chimiques présentes Identification de contaminants

Spécifications techniques

Éléments détectés :	Lithium - uranium
Résolution/sensibilité :	0.1 – 1 at%
Résolution en profondeur :	1 – 10 nm
Résolution latérale :	250 µm – 2 mm
Autres caractéristiques :	Cartographie, profil en profondeur, T = -196 – 600 oC, Chambre de préparation et de déposition par pulvérisation ou évaporation
Manufacturier :	VG Scientific
Modèle :	ESCALAB 3 MKII
Manufacturier :	Kratos
Modèle :	Axis Ultra